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扩散炉、熔接机等半导体制造设备、热处理设备、真空环境用途(无塑胶、橡胶等制品之气体释出）。
特点：1.全配件采金属件（若有需要刮油片亦可选用耐高温橡胶之材质）；2.可耐高温，其耐热温度近达150°C。
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